搭配群翌能源公司CHS/JHS系列产品，专为低温质子传导膜燃料电池(PEMFC)之电池堆开发所设计。除一般燃料电池堆IV性能量测之外CHS/JHS设备提供温湿度/压力敏感性测试、多点电压、多频道阻抗量测、系统运行仿真以及快速负载运行测试等功能，可提供使用者完整进行电堆开发及电堆耐久性测试。软件功能视觉化，数据实时显示，满足燃料电池开发过程中之快速产品分析及评价。
氢燃料电池膜电极开发测试设备 是专门用于研发和评估氢燃料电池核心组件--膜电极的实验与检测系统。
这类设备通常涵盖以下功能：
在工业生产、化工制造、半导体等领域，有害气体(如VOCs、硫化氢、氮氧化物等)的排放对环境和人体健康构成严重威胁。针对这一挑战，高效环保处理设备(如催化燃烧装置、RTO蓄热式氧化炉、低温等离子设备等)通过吸附、分解、转化等技术，将有害气体转化为无害物质，实现达标排放。此类设备广泛应用于电子、医药、涂装等行业，帮助企业满足严苛的环保法规，同时提升资源循环利用率。
中微惠创的行业领先优势--作为环保技术领域的创新企业，中微惠创依托自主研发与产学研合作，构建了覆盖技术研发、设备制造到工程服务的全链条能力。
公司配备先进的环保材料与气体处理实验中心，聚焦催化材料、等离子体技术等核心方向，已获多项国家专利，可根据客户需求定制高效、低能耗的解决方案。
自建现代化生产基地，采用自动化生产线与严格品控体系，确保设备稳定性与处理效率，同时缩短交付周期，支持大规模项目落地。
汇聚环保工程、化学工艺等领域的高端人才，提供从检测评估、方案设计到运营维护的一站式服务，客户覆盖多个企业，以成功案例验证技术可靠性。
中微惠创以”技术驱动绿色制造“为理念，持续推动有害气体处理技术的升级助力企业实现经济效益与环保责任的双赢。
ZEISS PRISMO
三坐标影像测量仪
三坐标测量机(Coordinate MeasuringMachine，简称CMM)是一种高精度的几何量测量设备，主要用于对工件的尺寸、形状和位置公差进行精密检测。它通过探针接触或非接触(如光学、激光)的方式，采集物体表面点的三维坐标数据，再通过软件分析得出测量结果。
蔡司PRISMO是蔡司三坐标测量机中的旗舰产品，其能在高速测量时获得可靠、可重复的结果。计算机辅助精度(CAA)可改进设备上的所有静态和动态影响因素，即使在高速扫描过程中也能实现高精度。更快的标定速度和久经考验的长期稳定性确保了经济效益的提高。
总之，三坐标测量机是现代工业中不可或缺的“质量守护者”，尤其在精密制造领域，它能快速、准确地验证产品是否达标，显著提升生产效率和可靠性。
气体分析仪
MKS气体分析仪是高精度气体检测设备，主要用于测量气体成分、浓度或物理性质，广泛应用于半导体、环境监测和工业过程控制。具有高精度、多气体同步分析、耐腐蚀设计特征。
其核心功能为：1.气体成分分析:检测混合气体中特定组分（如02、H2、CO2等），灵敏度可达ppm甚至ppb级；2.工艺监控：在半导体制造中实时监测刻蚀、沉积等工艺气体，确保稳定性；3.污染控制：检测环境或尾气中的有害物质（如VOCs、酸性气体），符合环保标准；4.真空系统监测：分析真空腔体内的残余气体成分。
技术原理：1.FTIR（红外光谱）:通过分子吸收光谱分析气体；2.质谱法（QMS/RGA）：电离气体分子，按质荷比检测；3.光吸收光谱（TDLAS）:高选择性测量痕量气体。
